สายการผลิตการเคลือบเป็นอุปกรณ์หลักสำหรับการปรับสภาพพื้นผิวโดยใช้วิธีทางกายภาพหรือทางเคมีเพื่อการผลิตจำนวนมากอย่างมีประสิทธิภาพ ใช้ในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ ยานยนต์ ทัศนศาสตร์ และพลังงานใหม่
1. สายการผลิตการเคลือบแมกนีตรอนต่อเนื่องในแนวตั้งของเซมิคอนดักเตอร์
คุณสมบัติ: การทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ รองรับการตรวจสอบระยะไกล การป้อนชั้นวางชิ้นงานอัตโนมัติเพื่อประสิทธิภาพการผลิตที่สูงขึ้น การออกแบบโครงสร้างเป้าหมายเพิ่มการใช้ประโยชน์และส่งผลให้สปัตเตอร์สม่ำเสมอมากขึ้น ระบบไอออไนเซชันของสารตั้งต้นช่วยให้ฟิล์มยึดเกาะได้ดีขึ้น
การใช้งาน: ใช้ในเซลล์แสงอาทิตย์ แผ่นขั้วเซลล์เชื้อเพลิงไฮโดรเจน กระจกนำไฟฟ้า ITO จอแสดงผลรถยนต์ และแผงวงจรเซรามิก
2. สายการผลิตการเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งต่อเนื่องแนวนอนตัวเก็บประจุเซรามิก
คุณสมบัติ: การควบคุมอัตโนมัติโดยคอมพิวเตอร์อุตสาหกรรม การขนส่งชั้นวางชิ้นงานอัตโนมัติ โครงสร้างเป้าหมายที่ปรับให้เหมาะสมสำหรับการเคลือบรู-ถึง- ความสม่ำเสมอของการสปัตเตอร์สูง ระบบไอออไนเซชันของสารตั้งต้นช่วยปรับปรุงคุณภาพของฟิล์ม
การใช้งาน: ใช้ในตัวเก็บประจุแบบยึดบนพื้นผิวและตัวต้านทานแบบฟิล์มบาง-
3. สายการผลิตการเคลือบแมกนีตรอนต่อเนื่องแนวนอน DPC
คุณสมบัติ: การผลิตอัตโนมัติเต็มรูปแบบ; 288 ชิ้นต่อชั่วโมง การเคลือบสองด้าน-ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอ สนามแม่เหล็กที่ได้รับการปรับให้เหมาะสมจะเพิ่มขึ้นผ่านการเติมเอฟเฟกต์ ปรับปรุงประสิทธิภาพการนำไฟฟ้าและการกระจายความร้อน
การใช้งาน: ใช้ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เช่น พื้นผิวเซรามิก ตัวเก็บประจุเซรามิก และขายึดเซรามิก LED
